266nm紫外脉冲激光器
ll266-q全固态266 nm的紫外激光器广泛用于紫外光固化,微电子,光盘雕刻,激光医疗,科学实验等
波长wavelength (nm)
266±1
输出功率 output power (mw)
1-200
线宽spectral linewidth (nm)
<3
工作方式 operating mode
脉冲
单脉冲能量(μj)
0.1~10
重复速率(khz)
可操控的
固定重复速率,例如1k,2k,3k,4khz,稳压激光器脉冲发射(稳定脉冲能量,峰值,持续时间和周期)。
不同的重复速率在1khz-4khz的范围内可以通过输入一个外部ttl信号取得。
不可操控的
在4k-10khz范围内不确定的重复速率和激光器不稳定脉冲发射。需要高峰值能量脉冲以适合应用程序。
光斑模式
beam mode
横模 transverse
near te00
纵模 longitude
multi-longitude
偏振方式 polarization
line polarization
偏振比polarization ratio
>100:1
光束质量beam quality (m2 factor)
<20
光束发散角beam divergence (full angle, mrad)
~2.0
光束直径beam diameter at aperture (mm)
2.0
光束指向稳定性 beam pointing stability(mrad)
<0.05
功率稳定性power stability (rms, over 8 hours)
<5%,<10%
振幅稳定性noise of amplitude (p-p)/噪声值
<3%
出光孔高度 aperture position (mm)
25/45
激光头
laser head
尺寸 dimensions (l×w×h, mm)
209 x 88x 74/204 x 78 x 63
重量 net weight (kg)
1.6/2.3
驱动电源
power driver
尺寸 dimensions (l×w×h, mm)
209 x 88 x 74
重量 net weight (kg)
2.3
电源型号integrated driver model
f-266
制冷方式cooling system
tec
预热时间warm-up time (minutes)
<5
工作温度operation temperature (℃)
10~35
使用寿命expected lifetime (hours)
>10000
保修期warranty time
1 year